三軸一體式設(shè)計：?
★剛性大、能耗低、運用廣、操控容易?
特性：?
★低載化空間設(shè)計、力矩剛性高、滾珠螺桿驅(qū)動高壽命?
專利：?
★具角度調(diào)整功能之精密滑臺，解決習(xí)用傳統(tǒng)方式所產(chǎn)生的問題?
應(yīng)用：?
★AXYR 三軸一體式精密電動滑臺可應(yīng)用于小型面板生產(chǎn)、手機電子產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)運用
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?型號
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AXYR60-A2PR-ND
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AXYR80-A2PR-ND
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AXYR120-A2PR-ND
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AXYR60-A2PL-ND
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AXYR80-A2PL-ND
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AXYR120-A2PL-ND
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臺面尺寸
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?60
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?80
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?120
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移動行程X軸
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±7.5mm
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±12mm
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±15mm
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移動行程Y軸
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±7.5mm
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±12mm
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±15mm
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移動行程θ軸
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±8.5°
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±10°
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傳動方式
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螺桿傳動
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軌道XY軸
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交叉滾柱導(dǎo)引式
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軌道θ軸
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滾珠循環(huán)式
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滑臺材質(zhì)/表面處理
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鋁合金/黑色陽極處理
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精度等級
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P:精密型
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馬達方向
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R: 右側(cè)安裝 / L:左側(cè)安裝
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XY軸解析度(脈沖)Full/Half
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5μm / 2.5μm
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θ軸解析度(脈沖)Full/Half
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0.0056°/0.0028°
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0.0047°/0.0023°
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0.0034°/0.0017°
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XY軸最高速度(全步級)
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10mm/sec
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θ軸最高速度(全步級)
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8°/sec
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XY軸單向定位精度
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10μm
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XY軸反復(fù)定位精度
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±1μm
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θ軸單向定位精度
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0.05°
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θ軸反復(fù)定位精度
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±0.01°
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荷重
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6kgf
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10kgf
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25kgf
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XY軸空轉(zhuǎn)
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2μm
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θ軸空轉(zhuǎn)
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0.01°
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平行度
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20μm
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30μm
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運動同心度
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20μm
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運動平行度
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10μm
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15μm
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馬達類型
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2MS-N28D32A
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2MS-N28D45A
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馬達廠牌
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GMT
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